Lateral-(xy)-Calibration Standard (2D200)

Fabricant: NANOSENSORS (https://www.nanosensors.com)

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Description du produit:

Le standard (2D200) est utilisé pour une calibration très précise en x-y du mécanisme de balayage. Le standard représente un réseau bidimensionnel de pyramides à base carrée inversées de maille de 100nm, gravées dans un substrat de silicium.

La surface utile est située au centre du chip et est entouré par la structure FindMe. Le réseau de pyramides inversées représente la zone active.

Le chip en Silicium est collé sur un porte-échantillon en acier de 12mm de diamètre. Ce porte-échantillon peut etre fixé soit magnétiquement soit mécaniquement. Ce produit est expédié dans une boite a Gel-Pak®.

Gel-Pak® est une marque déposée de Delphon Industries.

Features
200 nm pitch
high accuracy

Chip
Chip size	5x7
Active area	100x100

Lattice
Pitch	200 nm
Accuracy of pyramid position	10 nm
Accuracy of pitch (10x10 µm² scan)	±0.1%
Accuracy of pitch (100x100 µm² scan)	±0.01%

Pyramids
Edge length of square pyramids	aprox. 100 nm
Sidewall angle (versus wafer surface)	54.7°
Accuracy of sidewall angle	0.5
Depth of pyramids	approx. 70 nm

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