Description du produit:
Echantillon pour test KPFM et EFM comportant:
- réseaux alternant des lignes Al et Au déposées sur une couche d’oxyde couvrant un substrat de Silicium
- Réseau de lignes ayant un pitche de 8, 20 et 40µm
- hauteur des lignes d’environ 35nm
- chip monté sur un disque de 15mm comportement un empilement verre-metal
- fil en cuivre connecté aux plots de connexion Al et Au