TGX

Le réseau de calibration en silicium de la série TGX est composé d’un arrangement bidimensionnel de carrés et de trous avec des bords abrupts, sous-gravés, formés par les plans cristallographiques (110) du silicium. Le rayon typique des bords est de moins de 5nm.

• périodicité  3µm, précision 0.1µm
• rayon de bord <5nm
• hauteur de marche ~1µm (la hauteur de marche est donnée uniquement à titre indicative, et non pas pour la calibration verticale)
• surface active 1x1mm
• dimensions du standard 5x5x0.3mm
• disponible monté sur une plaque métallique ronde de 12mm (TGX)ou non-monté(TGX/NM)

Application

Les réseaux de calibration TGX sont conçus pour la calibration latérale des modules de balayage de SPM. Ils peuvent aussi être utilises pour:

• la détection de non-linéarités latérales, d’hystérésis, de fluage, et d’effets couplages croisés
• la détermination du rapport d’aspect de la pointe

Pour la quantification précise des images obtenues avec les réseaux de calibration de la série TGX, nous recommandons d’utiliser le logiciel d’imagerie (Scanning Probe Image Processor SPIP) conçu par Image Metrology