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Description du produit:
Les réseaux de calibration TGF comportent un arrangement unidimensionnel de marches trapézoïdales gravées dans un substrat de silicium. Les flans des structures sont très peu rugueux et plans, avec des orientations bien définies et formés par des plans cristallographiques (111) à partir de Silicium monocristallin. Les flans et les surfaces horizontales hautes forment un angle de 54° 74’.
| Ref | Périodicité | Angle entre plan cristallographique | Surface active, mm | Hauteur de marche,µm* | Dimension du standard, mm | |
| Valeur, µm | Précision, µm | |||||
| TGF11 | 10 | 0.1 | 54°74’ |
3x3 | 1.75 | 5 x 5 x 0.3 |
* The step height value is given for information only, not for vertical calibration purposes.
Application
Le réseau TGF11 peut être utilisé pour l’évaluation des non-linéarités du scanner dans la direction verticale. La calibration directe des forces latérales peut être obtenu en analysant la réponse de contact sur les portions plates et sur les facettes inclinées. Ceci peut être fait en calibrant des sondes conventionnelles de topographie en silicium ou des sondes comportant des colloïdes attachés pour tout type de rayon et ce jusqu’à 2µm.