TGXYZ01

Les réseaux de calibration de la série TGXYZ sont des structures bidimensionnelles comprenant des marches rectangulaires  en SiO₂ sur un substrat de Silicium. Le petit carré au centre de dimension 500x500µm contient des piliers et des trous circulaires ainsi que des lignes dans les directions X et Y avec une périodicité de 5µm. Le grand carré de dimension 1x1mm contient des piliers et des trous de section carré, avec une périodicité de 10µm.

La hauteur de marche est calibrée sur toute la surface de la zone active. Les valeurs de hauteur de marche documentées dans les spécifications individuelles peuvent être légèrement différentes de la valeur nominale d’un standard à un autre.

• hauteur de marche 20nm, précision 5%
• périodicité 5 and 10µm, précision 0.1µm
• surface active 1x1mm
• dimensions du standard 5x5x0.3mm
• disponible monté sur une plaque métallique ronde de 12mm (TGXYZ01) ou non-monté (TGXYZ01/NM)
• autres versions du meme réseau de calibration avec des hauteurs de marche de 100nm (TGXYZ02) et 500nm (TGXYZ03) sont aussi disponibles

Application

Les réseaux de calibration TGXYZ sont conçus pour la calibration  verticale et latérale des modules de balayage de SPM. On peut compenser la non-linéarité verticale en utilisant plusieurs réseaux de calibration avec différentes hauteur de marche nominales.

Pour la quantification précise des images obtenues avec les réseaux de calibration de la série TGXYZ, nous recommandons d’utiliser le logiciel d’imagerie (Scanning Probe Image Processor SPIP) conçu par Image Metrology.